PTR Series 原子力显微镜

n概览

 

- The Fully Automated AFM for Accurate Inline Metrology of Hard Disk Head Sliders that makes doing great work simpler.

- Park Systems的PTR系列是针对全自动工业级线上的原子力显微镜解决方案，适用于（不限于）长形条、磁头万向节组件(HGA)级滑块以及单独滑块的极尖沉降自动测量。凭借着亚纳米级精确度、高重复精度以及高通量，PTR系列是滑块厂商提高整体产量的理想测量工具。

- Inline Automation, for Fast, Accurate, and Repeatable PTR Measurements

- 硬盘驱动滑块制造业要求工具不仅可以快速且流畅地测量极尖沉降，同时还要保证高标准的精确度。这便是Park NX-PTR大展身手的领域。在超精确的极尖沉降测量之外，自动化功能可极大程度提高效率。这让NX-PTR成为硬盘驱动器滑块厂商的理想选择，兼顾优质质量和产量。

- High Throughput,with No Need for Multiple Reference Scans

- 大多数原子力显微镜需要多次扫描才可以准确测量极尖沉降，首先是大区域参考扫描，随后小区域高分辨率扫描。多次扫描占用大量时间，且限制了通量的提高。我们的扫描系统带来真正的平面扫描，有效地降低扫描次数。此外，True Non-Contact™模式让探针保持锋利，在延长使用寿命的同时，提供更持久的高分辨率成像效果。相应地，Park NX-PTR能够生成感兴趣区域的详细准确图像，而无需进行参考扫描，以便修正扫描器伪影。

 

n应用

 

- Automated Inline Measurements of Hard Disk Sliders

- 随着硬盘滑块的尺寸越来越小，复杂性越来越高，提高产量的关键在于实现纳米级的精确度。

- Park NX-PTR恰恰具备这样的精确且自动的硬盘滑块测量。

- Automatic PTR Measurement and Analysis

- 借助NX-PTR系统，极尖沉降测量可实现全自动，带来更高的通量，无论是对于载体、长形条，还是滑块。

- Park Systems的工业级原子力显微镜精确且稳定的全自动化极尖沉降(PTR)测量成为可能。

- 极尖沉降量的监测要求测量精度达到0.1 mm，这意味着离测量表面只有20 µm远。

- Automatic Wall Angle Measurement & Analysis

- 实现各类墙角的自动测量与分析。

- Automatic Defect Measurement and Analysis

- 实现各类缺陷的全自动测量与分析，如表面尖角。

n特点

 

- Low Noise XYZ Position Sensors for more accurate scans

- NX-PTR摈弃了常见的非线性Z轴电压信号，而是采用超低噪声Z轴探测器，从而带来无与伦比的形貌高度精度。凭借着行业领先的低噪声Z轴探测器，正向扫描和反向扫描间隙得以降到扫描范围的0.15%以内，甚至可以忽略不计，而这时Z轴形貌信号所无法企及的。

- Minimal Thermal Drift and Hysteresis reduces tip drift

- NX-PTR具备极为突出的热稳定性和机械稳定性，从而大大降低热漂移，实现更为精确的测量。一般情况下，横向热漂移率低于100 nm/°C，而垂直热漂移率则低于200 nm/°C。

- Automatic Measurement Control so you can get accurate scans with less work

- NX-PTR配有自动化软件，操作起来轻而易举。您只需要选择想要的测量程序，并设定相应的悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数，便可取得多位置分析。此外，Park的用户友好型界面让您能够随意创建自定义作业程序，以便您完全发挥NX-PTR的实力，满足所有的测量需求。创建新的作业程序极为简单，新测量文件创建只需要10分钟，而修改现有的测量文件则不超过5分钟。

- Park NX-PTR’s automated system features:

 自动、半自动和手动模式，让您掌控全局

 各自动程序的可编辑测量方法

 测量过程实时监测

 自动分析所获取的测量数据

 

n选配

 

- Productivity meets Accuracy

- Automatic Tip Exchange

- Park推出的自动探针更换系统让您的自动测量程序可以无缝续航。该系统会根据参考图形测量数据，自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换成功率高达99%，让您无需分心监督探针更换.

- Automatic Laser Beam Alignment

- Park的自动激光准直系统让您无需输入任何数据，便可持续自动测量。凭借着我们先进的预准直悬臂架，激光在自动更换探针时便已对准悬臂。只需要调整定位旋钮，便可在X和Y轴上任意定位激光光点，达到理想位置。

- Customize your AFM to make it more efficient and more effective

- Ionization System for a more stable scanning environment

创新的离子化系统能够快速有效地消除样品的静电电荷。由于系统能够让阴阳离子保持完美的平衡状态，样品得以处在极其稳定的电荷环境中。同时，对周边区域的污染几乎可以忽略不计，并将样品操作时意外产生静电电荷的几率降到低。