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SAM-ATHLON型扫描超声显微镜
品牌:Acoulab
型号:SAM-DENEB
产地:韩国
关键字:金属材料 半导体 内部缺陷 多层扫描
型号:SAM-DENEB
产地:韩国
关键字:金属材料 半导体 内部缺陷 多层扫描
n主要用途:
测试被测半导体或者材料领域产品的内部缺陷,如空洞、分层、裂缝、异物等;
n优势简介:
- 定制化的扫描轴、槽以及框架,扫描尺寸高达1500mm;
- 全自动浸入系统;
- 样品快速风干处理;
- 扫描速度快,成像质量高;
- 多种选项可供选择;
- 非破坏性、无损检测ITO靶材、LCD或IC芯片内部结构
- 对人体是没有伤害的
- 可检测各种缺陷(裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等)
n产品特色
SAM-ATHLON是一款高性能声学显微镜,可以对ITO靶材、LCD或IC芯片内部结构进行无损检测,分析器件内部之分层、裂缝、空洞等缺陷。X轴和Y轴均是新型高速线性伺服电机,扫描速度快,同时经久耐用。能对器件作多种扫描模式,如点扫描(A-)、纵剖扫描(B-)、横剖扫描(C-)、多层横剖扫描(X-)等。
n主要参数
- 超声波测量探头频率范围 : 1-500MHz
- A/D 换能器:500MHz 取样频率
- XYZ扫描台均可定制
n产品应用
半导体方向 : Flat and Round type of LCD/PDP, ITO Target
材料方向 : ITO Target, Wafer, Pipe, Plate, Bar, complex Material, Piston test, Flaw detection in Planting, Car Engine, Weld zone
2021-09-27 15:35