德国OEG公司简介
德国OEG生产的半导体行业专业的SURFTENS系列测量仪，含手动、自动。能够精准测量接触角/表面张力/自由能。适用于晶圆镀膜和光刻过程检控、控制晶圆的涂层和光刻工艺、检查硅晶圆表面润湿能力，客观检测晶圆表面处理后的表面自由能，生产中控制技术参数、保证生产质量或开发新的镀膜技术。适用于无尘室的要求。另配有光刻胶边缘分析仪。
德国OEG生产的半导体行业专业的SURFTENS系列测量仪，含手动、自动。能够精准测量接触角/表面张力/自由能。适用于晶圆镀膜和光刻过程检控、控制晶圆的涂层和光刻工艺、检查硅晶圆表面润湿能力，客观检测晶圆表面处理后的表面自由能，生产中控制技术参数、保证生产质量或开发新的镀膜技术。适用于无尘室的要求。另配有光刻胶边缘分析仪。
