全自动临时键合机

n产品简介

AFIXX 20a 是一款全自动临时键合设备，主要用于将单个基板，碎片等临时粘合到刚性载体或其他基板上。装载和卸载和临时键合过程均是全自动执行的。它适用于非常薄的易碎基材和柔性塑料材料，系统集成了一个加热板，可以将载体或基材加热到 200ºC。

n产品特色

÷ 全自动机台cassette to casstte

÷ 基材尺寸最大Ø 200 mm (Ø 8″)（可选  Ø 300 mm (Ø 12″) 或 230 x 230 mm (9″x 9″)）

÷ 全自动自动临时粘接处理

÷ 高达 200ºC 的集成加热板

÷ 适用于非常薄的易碎晶圆 (< 40 μm) 和柔性塑料材料

÷ 良好的 TTV

÷ 用于精确对准晶圆和载体的激光标记

÷ 用于安全过程观察的透明门

÷ 用于操作 GUI 的系统控制单元 (windows 7 /10)

÷ 22" 触摸屏显示器

÷ 与硅、化合物和玻璃材料兼容

÷ 设计大批量生产

n产业应用

该系统主要用于 CMP、研磨、抛光和蚀刻等工业的临时键合处理。

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