全自动湿法处理系统

n产品简介

CHEMIXX 1201是全自动湿法处理系统，配置cassette to cassette 或foup,，支持12寸及以下尺寸晶圆或9 x 9 英寸方片的湿法处理，包括蚀刻、清洁或显影工艺。该系统可配置3个自动输送臂，多种不同的喷嘴，以满足不同的湿法应用。

n产品特色

÷ 应用领域：清洗、蚀刻或显影

÷ 衬底尺寸可达 Ø300 毫米或可达 230 x 230 毫米

÷ 最多三个自动输送臂

÷ 可选不同类型的喷嘴和 BSR 喷嘴

÷ 去离子水室冲洗

÷ 电阻率 PH-Sensor 控制

÷ 单臂或双臂机械臂

÷ 带 FOUP 或 Cassette 的

÷ 真空或低接触卡盘

÷ 外部10或40升不同化学品罐可选

÷ 由 PP 制成的工艺室（可选 ECTFE）

÷ 两个或多个排液分流器（传感器控制和通过配方编程）

÷ 带有四个光区的信号灯，使系统状态可视化

÷ 满足洁净室等级 10 (ISO 4) 的通用设计

÷ 兼容SCES/GEM通讯协议

÷ 清洗部分，包含PVA刷洗，兆声清洗，化学液清洗等模组

n技术数据

÷ 衬底尺寸: 最大可达 Ø300 mm (Ø12 inch) 或 230 x 230 mm (9 x 9 inch)

÷ 电机转速: 最大 6.000 转数*, 以 1 转 步进可编程

÷ 电机加速: 最大 40.000 转/秒*, 以 1 转/秒的步进

÷ 步进时间: 1 至 999.9 秒，步长为 0.1 秒

系统架构: 由粉末涂层不锈钢制成，4 个可调节支脚和运输轮以及用于加工区域的透明和可锁定的玻璃门

÷ 处理室: 由 PP 白色制成（可选 ECTFE）

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