首页    湿法台    全自动湿法处理系统

全自动湿法处理系统

c1152493-602e-420c-aa3f-9e83d4ca29b2
品牌:Osiris

型号:CHEMIXX  1201

产地:德国

关键字:全自动、CMP后清洗、刻蚀、显影

n产品简介

 

CHEMIXX 1201是全自动湿法处理系统,配置cassette to cassette 或foup,,支持12寸及以下尺寸晶圆或9 x 9 英寸方片的湿法处理,包括蚀刻、清洁或显影工艺。该系统可配置3个自动输送臂,多种不同的喷嘴,以满足不同的湿法应用。

 

n产品特色

 

÷ 应用领域:清洗、蚀刻或显影

÷ 衬底尺寸可达 Ø300 毫米或可达 230 x 230 毫米

÷ 最多三个自动输送臂

÷ 可选不同类型的喷嘴和 BSR 喷嘴

÷ 去离子水室冲洗

÷ 电阻率 PH-Sensor 控制

÷ 单臂或双臂机械臂

÷ FOUP Cassette

÷ 真空或低接触卡盘

÷ 外部1040升不同化学品罐可选

÷ PP 制成的工艺室(可选 ECTFE

÷ 两个或多个排液分流器(传感器控制和通过配方编程)

÷ 带有四个光区的信号灯,使系统状态可视化

÷ 满足洁净室等级 10 (ISO 4) 的通用设计

÷ 兼容SCES/GEM通讯协议

÷ 清洗部分,包含PVA刷洗,兆声清洗,化学液清洗等模组

 

n技术数据

 

÷ 衬底尺寸: 最大可达 Ø300 mm (Ø12 inch) 230 x 230 mm (9 x 9 inch)

÷ 电机转速: 最大 6.000 转数*, 1 步进可编程

÷ 电机加速: 最大 40.000 /*, 1 /秒的步进

÷ 步进时间: 1 999.9 秒,步长为 0.1

系统架构: 由粉末涂层不锈钢制成,4 个可调节支脚和运输轮以及用于加工区域的透明和可锁定的玻璃门

÷ 处理室: PP 白色制成(可选 ECTFE

 

          

创建时间:2021-09-30 19:35

产品中心