大尺寸湿法处理系统

n产品简介

CHEMIXX  760系统是一款大尺寸湿法系统，支持最大样品达535X535mm(21寸方片)，更大的样品尺寸可定制，一台系统可实现清洗、蚀刻 、显影 ，干燥整个工艺过程。

n产品特色

÷ 基板尺寸高达 535 x 535 mm/21 x 21 inch

÷ 手动装载半自动系统

÷ 两个用于化学液输送和机械清洗的电动输送臂

÷ 提供多种喷嘴，spray,puddle,喷雾，5孔碰头等

÷ 低接触或定制夹具

÷ 化学液具有加热功能，最高 60°C (85°C) 

÷ 集成三种不同化学液供液系统，外部液体罐可选

÷ 手动灌装或通过批量灌装系统

÷ 工艺室外的手动去离子水枪

÷ 去离子水室冲洗

÷ 系统前端的紧急停止按钮

÷ 传感器控制的 3 路排水系统可通过配方进行编程。

÷ 带有三个光区的信号灯，用于系统状态的可视化

÷ 支持化学液清洗，兆声清洗，PVA刷洗，吹干等工艺

÷ 满足洁净室等级 10 (ISO 4) 的一般设计

n技术数据

÷ 衬底尺寸: 最大可达 535 x 535 mm / 21 x 21 inch

÷ 电机转速: 最大 3.000 rpm, 步长 1 rpm

÷ 电机加速: 最大 2.000 rpm/s,步长 1 rpm/s

÷ 步进时间: 1 至 999.9 秒，步长为 0.1 秒

÷ 工艺腔室材料:  PP （可选 PVDF)