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高产量全自动晶圆匀胶/喷胶机

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品牌:Osiris

型号:VARIXX 1204

产地:德国

关键字:全自动、匀胶、喷涂、光刻胶喷涂、高产能

n产品简介

 

VARIXX 1204型全自动匀胶喷胶机采用新的喷涂概念,将两种不同的喷涂方法集成到一个系统中,可用于2D喷胶,也可以对凹凸面进行3D喷涂,全自动装卸,全自动喷涂旋涂,同时可配置匀胶,显影,清洗,烘焙模块,高产能。

 

n产品特色

 

÷ 适用于所有形貌和形状的喷涂。

÷ 工作台具有加热功能

÷ 自动装卸

÷ 集成两个具有自动快速更换功能的超声波喷嘴。

÷ 集成安全传感器

÷ 6轴机械手系统

÷ 注射器分散系统

÷ 采用粉末涂层不锈钢制成的系统框架和工艺容器

÷ 用于加工区域的可锁定透明门

÷ 系统正面的紧急停止按钮

÷ 带有三个光区的信号灯,用于显示系统状态

÷ 可调节调平脚和运输轮

÷ 满足洁净室 10 级的通用设计 (ISO 4)

÷ 带有 22" 触摸屏显示器的用户友好型操作界面 GUI

÷ 可编程工艺参数(喷嘴位置、光刻胶剂量、速度和 N2 流量)

÷ 配方和流程的库函数

÷ 衬底尺寸: 圆片从 Ø 200mm (8 inch) Ø 300mm (12 inch) ,

                   方片从 9 x 9 inch 21 x 21 inch

 

                                       

创建时间:2021-09-30 21:20

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