高产量全自动晶圆匀胶/喷胶机

n产品简介

VARIXX 1204型全自动匀胶喷胶机采用新的喷涂概念，将两种不同的喷涂方法集成到一个系统中，可用于2D喷胶，也可以对凹凸面进行3D喷涂，全自动装卸，全自动喷涂旋涂，同时可配置匀胶，显影，清洗，烘焙模块，高产能。

n产品特色

÷ 适用于所有形貌和形状的喷涂。

÷ 工作台具有加热功能

÷ 自动装卸

÷ 集成两个具有自动快速更换功能的超声波喷嘴。

÷ 集成安全传感器

÷ 6轴机械手系统

÷ 注射器分散系统

÷ 采用粉末涂层不锈钢制成的系统框架和工艺容器

÷ 用于加工区域的可锁定透明门

÷ 系统正面的紧急停止按钮

÷ 带有三个光区的信号灯，用于显示系统状态

÷ 可调节调平脚和运输轮

÷ 满足洁净室 10 级的通用设计 (ISO 4)

÷ 带有 22" 触摸屏显示器的用户友好型操作界面 GUI

÷ 可编程工艺参数（喷嘴位置、光刻胶剂量、速度和 N2 流量）

÷ 配方和流程的库函数

÷ 衬底尺寸: 圆片从 Ø 200mm (8 inch) 到 Ø 300mm (12 inch) ,

                   方片从 9 x 9 inch 到 21 x 21 inch