12寸晶圆贴膜机(Laminator)
品牌:Powatec
型号:L-300
产地:瑞士
关键字:晶圆贴膜机
型号:L-300
产地:瑞士
关键字:晶圆贴膜机
POWATEC L-300手动晶圆贴膜机主要用于将薄膜贴到晶圆上,对晶圆起保护作用以用于后续抛光,减薄,切割等半导体工艺,独特的设计允许一次性将粘性蓝膜或 UV 膜层压到晶圆上,集成的三个气动销可保证晶圆居中,一个除静电的真空吸盘用于吸附晶圆,在层贴膜过程可保证薄膜晶圆干净,配合使用橡胶辊,可保证无气泡,专用的切割装置可保证沿着晶圆边缘准确快速切割。
主要特点:
最大12" 晶圆尺寸,兼容8",材质不限
工作台带有除静电功能
胶带张力可调
快速轻松地转换为各种晶圆和薄膜
紧凑而坚固的桌子设计
安装和启动时间短
运营成本低
UPH,胶带晶圆/小时高达 80 片
符合IEC 204-1安全标准
选项:
PTW保护胶带自动卷绕装置
ASB防静电棒
AIB去静电
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2021-09-28 10:40