半自动晶圆扩膜机
品牌:Powatec
型号:SFE
产地:瑞士
关键字:晶圆扩膜机、扩膜机、半自动扩膜机
型号:SFE
产地:瑞士
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半自动扩膜机 SFE 200 & 300 被开发用于将“隐形激光晶圆”扩展到 300 毫米晶圆尺寸。由于薄膜的膨胀,从芯片到芯片的可见间距可以达到约 50 微米。
使用 SFE 200 和 SEF 300,8" 晶圆和 300mm 晶圆可以在不需要大框架的情况下进行隔离和扩展。这样可以节省薄膜,是一个很大的优势。该工艺已获得专利。
晶圆均匀扩展的条件是晶圆上所有切割线的分割 SEF 200 和 SEF 300 配备了一个吹气筒,可以分离最大 2mm x 2mm 的芯片。
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创建时间:2021-09-28 10:30