18寸晶圆解胶机

POWATEC 固化系统专为框架最大为 450毫米的晶圆而设计。LED 产生的波长为 365 nm ，最大输出光功率为 800 mW。

打开盖子并将晶片插入玻璃窗格。盖上盖子。曝光将立即开始。固化在大约 10-60 秒后完成，产生50 至 180 个晶圆/小时的稳定吞吐量。完全可调的曝光剂量范围在 80 mJ/cm² 到 1000 mJ/cm² 之间。

主要特点：

• 采购成本低=总拥有成本 (COO) 最低！
• 没有产生有害臭氧
• 零预热时间
• UV - LED使用寿命长（ 10,000小时以上）
• 低强度下降（10,000小时内下降 5%）
• 对薄膜没有热影响
• 紧凑而坚固的桌子设计
• 安装和实施时间短
• 维护成本低
• 符合IEC 204-1安全标准
• 生产率50-180晶圆/小时。

选项：

• 氮气淋浴