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8寸晶圆半自动台式显影机

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品牌:Osiris

型号:BASIXX ST20+

产地:德国

关键字:显影、清洗、干燥

n产品简介

 

OSIRIS BASIXX ST20+型半自动台式显影机主要用于晶圆或方片的显影处理,可处理晶圆最大尺寸Ø8”(Ø 200mm)或方片6”Í6” (150mmÍ150mm)。系统内置软件支持recipe管理,可对全自动输液臂、旋转盘、显影液等进行精准控制,以达到最佳的显影效果。该设备配有一个7”彩色触摸屏,操作简单,易于使用。

 

n产品简介

 

÷ 半自动化系统,手动装卸片,后续工艺通过设置recipe自动运行;

÷ 1个全自动输液臂,最多5路管路,通过设置recipe自动控制喷嘴位置和液体流速;

÷ 通过氮气压力罐供应显影液;

÷ 配有氮气吹扫喷嘴;

÷ 配有去离子水DIW喷嘴;

÷ 集成UPS不间断电源;

÷ 配有湿法加工防溅环,可拆卸,易于清洗;

÷ 可存储多达200个recipe,每个recipe可设置20步;

÷ 配有集液盘,且加工腔可拆卸,易于清洗;

÷ 不同尺寸、多种类型的夹具可供选择,包括湿法低接触夹具和方片夹具;

÷ 加工腔及设备材质均为聚丙烯(PP-polypropylene);

 

n技术数据

 

÷ 最大尺寸:Ø8”(Ø 200mm)晶圆或6”Í6” (150mmÍ150mm)方片;

÷ 电机速度:最高10000rpm,步长1rpm;

÷ 电机加速度:4000rpm/sec;

÷ 步进时间:1到999.9秒,步长0.1秒;

 

创建时间:2021-09-30 21:00

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