8寸晶圆半自动台式显影机

n产品简介

OSIRIS BASIXX ST20+型半自动台式显影机主要用于晶圆或方片的显影处理，可处理晶圆最大尺寸Ø8”(Ø 200mm)或方片6”Í6” (150mmÍ150mm)。系统内置软件支持recipe管理，可对全自动输液臂、旋转盘、显影液等进行精准控制，以达到最佳的显影效果。该设备配有一个7”彩色触摸屏，操作简单，易于使用。

n产品简介

÷ 半自动化系统，手动装卸片，后续工艺通过设置recipe自动运行；

÷ 1个全自动输液臂，最多5路管路，通过设置recipe自动控制喷嘴位置和液体流速；

÷ 通过氮气压力罐供应显影液；

÷ 配有氮气吹扫喷嘴；

÷ 配有去离子水DIW喷嘴；

÷ 集成UPS不间断电源；

÷ 配有湿法加工防溅环，可拆卸，易于清洗；

÷ 可存储多达200个recipe，每个recipe可设置20步；

÷ 配有集液盘，且加工腔可拆卸，易于清洗；

÷ 不同尺寸、多种类型的夹具可供选择，包括湿法低接触夹具和方片夹具；

÷ 加工腔及设备材质均为聚丙烯（PP-polypropylene）；

n技术数据

÷ 最大尺寸：Ø8”(Ø 200mm)晶圆或6”Í6” (150mmÍ150mm)方片；

÷ 电机速度：最高10000rpm，步长1rpm；

÷ 电机加速度：4000rpm/sec；

÷ 步进时间：1到999.9秒，步长0.1秒；