半自动晶圆喷胶机
品牌:Osiris
型号:UNIXX SP 760
产地:德国
关键字:喷涂、光刻胶喷涂
型号:UNIXX SP 760
产地:德国
关键字:喷涂、光刻胶喷涂
n产品简介
UNIXX SP760型半自动喷胶机采用新的喷涂概念,将两种不同的喷涂方法集成到一个系统中,可用于2D喷胶,也可以对凹凸面进行3D喷涂。
n产品特色
÷ 适用于所有形貌和形状的喷涂。
÷ 工作台具有加热功能
÷ 手动装卸
÷ 集成两个具有自动快速更换功能的超声波喷嘴。
÷ 集成安全传感器
÷ 6轴机械手系统
÷ 注射器分散系统
÷ 采用粉末涂层不锈钢制成的系统框架和工艺容器
÷ 用于加工区域的可锁定透明门
÷ 系统正面的紧急停止按钮
÷ 带有三个光区的信号灯,用于显示系统状态
÷ 可调节调平脚和运输轮
÷ 满足洁净室 10 级的通用设计 (ISO 4)
÷ 带有 22" 触摸屏显示器的用户友好型操作界面 GUI
÷ 可编程工艺参数(喷嘴位置、光刻胶剂量、速度和 N2 流量)
÷ 配方和流程的库函数
÷ 衬底尺寸: 圆片从 Ø 200mm (8 inch) 到 Ø 300mm (12 inch) ,
方片从 9 x 9 inch 到 21 x 21 inch
2023-04-10 16:59