光栅尺寸无损检测仪

n产品简介

荷兰TeraNova公司的光栅尺寸无损检测仪是一款针对工业客户的大范围、快速、无损检测设备。该设备利用光的散射原理，可以无损、快速检测光栅的周期（pitch）、线高（Height）、占空比（DC）、坡度（Side-wall Angle）、残余层厚度（RLT）等数据。可以解决传统采用电镜只能进行切割，局部检测，破坏性检测的缺点。

n检测原理

光源的入射光线在物镜（Objective lens）的后焦平面（Back-focal plane）聚焦，通过物镜后产生准直平行光（Collimated light）照射样品表面。通过调整入射光线在后焦平面的聚焦位置（Δ）来调整准直平行光照射样品表面的角度。照射样品表面的准直平行光发生衍射，形成不同光强的衍射级（Diffracted orders），收集不同入射角度（Incidence angle）对应产生的不同衍射级信号，与数据库信息进行拟合，就可以对被测样品进行评估并得到被测样品的几何参数信息。

n主要指标

-关键尺寸灵敏度：＜2nm；

-空间分辨率：50μm；

-每个点扫描时间：15s-30s；

-照射角度范围：-40°-40°；

-最小晶圆厚度：0.3mm；

-晶圆尺寸（直径）：最大300mm；

-基底兼容性：透明或不透明；

-晶圆装载方式：手动或自动；

n与扫描电镜（SEM）检测方法对比

待测光栅周期（Pitch）约为380nm，残余层厚度（RLT）约为47nm，线高（Height）约为102nm。通过将检测值与数据库信息拟合，得到样品几何参数。

结论：通过两种不同检测方法测得的样品几何参数的对比可以看出，采用TeroNova光栅尺寸无损检测仪测得的数据与SEM无明显差异，但由于TeroNova光栅尺寸无损检测仪具有大范围、快速、无损检测的特点，使其更适合应用于工业领域。

n应用案例-光栅关键尺寸（CD）空间点阵扫描