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晶圆表面颗粒沉积检测系统

颗粒沉降监测仪

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品牌：Fastmicro
型号：FM-PS-PFS-V01
产地：荷兰
关键字：颗粒度检测、颗粒沉降速率监测

n产品简介

荷兰Fastmicro公司的颗粒沉降扫描仪用于检测超净间环境中的颗粒度及颗粒沉降速率，该设备可以提供秒级颗粒沉降速率连续监测，最小可监测颗粒尺寸为0.5μm，该设备具有连续快速检测、兼容工业和科研环境、具有易于操作、高分辨检测（数量、位置、尺寸）、检测重复性好等特点。

n原理简介

采用专利技术米氏散射原理检测表面微观颗粒，光源发出的平行光照射待测表面，遇到表面的突起颗粒发生米氏散射，摄像头传感器以一定角度接收到散射信号，根据散射信号可获取关于待测表面颗粒尺寸信息。

n主要技术指标

测量速度	秒级连续表面颗粒沉降监测；
数据输出	颗粒增量水平监测；颗粒数量；颗粒位置；颗粒尺寸；带有粒子标记的图像；可导出KLARF和Excel文件；数据通过USB或以太网输出；
操作	操作简单；
测量范围	最小可检测0.5μm大小PSL颗粒
基座直径	50mm
标准晶圆直径	25mm
适用范围	真空和大气环境
产品尺寸（长Í宽Í高）	405mmÍ183mmÍ209mm

n应用案例

洁净室颗粒监测

创建时间：2023-06-12 16:59

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