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SAM-CYGNUS全自动wafer扫描超声显微镜

SAM-CYGNUS全自动wafer扫描超声显微镜-1
品牌:Acoulab

型号:SAM-CYGNUS

产地:韩国

关键字:金属材料 半导体  全自动  wafer扫描

n主要用途:

 

测试被测4,6waferLEDwafer产品的内部缺陷,如空洞、分层、裂缝、异物等;

 

n优势简介

 

- 可用于4”,6”wafer SAM-CYGNUS LED测试

- 带有全自动机械臂,可进行自动取片自动检测

- 配置Wafer Map, BCR reader, Wafer Pre Aligner, Spin Coater System等全自动系统

- 可用于测量材料表面与内部缺陷的位置与尺寸大小(Debonding, Delamination, Crack

- 可用于测量材料的厚度

- Water jet 扫描系统

- 带安全锁及报警系统

- 噪声低:采用高精度linear-servo电机

- 成像质量高,速度快,扫描精度高

- 支持A, C, T 扫描模式

 

n产品特色

 

SAM-CYGNUS是一款全自动的wafer缺陷测试声学显微镜,可以对4,6wafer进行全自动无损检测,分析器件内部之分层、裂缝、空洞等缺陷。X轴和Y轴均是新型高速线性伺服电机,扫描速度快,同时经久耐用。能对器件作多种扫描模式,如点扫描(A-)、纵剖扫描(B-)、横剖扫描(C-)、多层横剖扫描(X-)等。

 

n主要参数

 

- 超声波测量探头频率范围 : 1-500MHz

- A/D 换能器:2GHz 取样频率, 1GHz带宽

- 适合wafer尺寸:4”6”

- XY方向重复定位精度:±2μm

- Z方向扫描范围:70mm

- Z方向扫描分辨率:2.5μm

 

n产品应用:

 

waferLED芯片

创建时间:2017-07-15 12:00

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