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MPS R400CV 晶圆研磨机/减薄机

MPSR400CV
品牌:G&N

 型号:MPS R400CV

 产地:德国

 关键字:晶圆研磨机、晶圆减薄机、研磨机、减薄机

n 简介

MPS R400 系列研磨机、减薄机采用德国G&N公司最新的磨削技术,主要用于2寸,4寸,6寸,8寸wafe进行高精度研磨与减薄,可用于小批量生产、研究和开发中研磨硅及其他半导体材料。

 

n 应用

用于对精度要求高的硅,SIC,GaN等半导体材料、石英、铁氧体等难加工材料的粗精加工。

 

n 特征

全自动高精度真空研磨系统

一个主轴,粗磨砂轮与精磨砂轮自动切换设计

自动精细给进

可编程研磨处理

防溅罩

变频转台

真空吸盘

 

n 可选件

湿磨系统

真空吸盘

真空发生器

CBN-和金刚石砂轮

 

n 主要技术参数

主轴转速

最大2560min-1

旋转工作台

 

直径

φ400 mm

转速                           

2-30rpm,可调

平面起伏误差

≤2μm

砂轮

 

金刚石/立方氮化硼

φ200 mm

真空吸盘

32x2"; 16x3"; 8x4"; 5x5"; 4x6"; 2x8"

精细给进

 

范围

170 mm

最小步长

1μm

重量

1130kg  

TTV

≤3μm 

粗糙度  

0.016μm

创建时间:2021-02-05 21:35

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