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MPS R400CV 晶圆研磨机/减薄机

MPSR400CV

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品牌：G&N

型号：MPS R400CV

产地：德国

关键字：晶圆研磨机、晶圆减薄机、研磨机、减薄机

n 简介

MPS R400 系列研磨机、减薄机采用德国G&N公司最新的磨削技术，主要用于2寸，4寸，6寸，8寸wafe进行高精度研磨与减薄，可用于小批量生产、研究和开发中研磨硅及其他半导体材料。

n 应用

用于对精度要求高的硅，SIC,GaN等半导体材料、石英、铁氧体等难加工材料的粗精加工。

n 特征

全自动高精度真空研磨系统

一个主轴，粗磨砂轮与精磨砂轮自动切换设计

自动精细给进

可编程研磨处理

防溅罩

变频转台

真空吸盘

n 可选件

湿磨系统

真空吸盘

真空发生器

CBN-和金刚石砂轮

n 主要技术参数

TTV	≤3μm
粗糙度	0.016μm

创建时间：2021-02-05 21:50

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