MPS R400CV 晶圆研磨机/减薄机
品牌：G&N
型号：MPS R400CV
产地：德国
关键字：晶圆研磨机、晶圆减薄机、研磨机、减薄机
型号：MPS R400CV
产地：德国
关键字：晶圆研磨机、晶圆减薄机、研磨机、减薄机
n 简介
MPS R400 系列研磨机、减薄机采用德国G&N公司最新的磨削技术，主要用于2寸，4寸，6寸，8寸wafe进行高精度研磨与减薄，可用于小批量生产、研究和开发中研磨硅及其他半导体材料。
n 应用
用于对精度要求高的硅，SIC,GaN等半导体材料、石英、铁氧体等难加工材料的粗精加工。
n 特征
全自动高精度真空研磨系统
一个主轴，粗磨砂轮与精磨砂轮自动切换设计
自动精细给进
可编程研磨处理
防溅罩
变频转台
真空吸盘
n 可选件
湿磨系统
真空吸盘
真空发生器
CBN-和金刚石砂轮
n 主要技术参数
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主轴转速 |
最大2560min-1 |
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旋转工作台 |
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直径 |
φ400 mm |
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转速 |
2-30rpm，可调 |
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平面起伏误差 |
≤2μm |
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砂轮 |
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金刚石/立方氮化硼 |
φ200 mm |
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真空吸盘 |
32x2"; 16x3"; 8x4"; 5x5"; 4x6"; 2x8" |
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精细给进 |
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范围 |
170 mm |
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最小步长 |
1μm |
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重量 |
1130kg |
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TTV |
≤3μm |
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粗糙度 |
0.016μm |
创建时间：2021-02-05 21:50
