旋涂仪

n产品简介

UNIXX SA20/30 半自动旋涂仪可提供出色的涂层均匀性和可重复性，特别是适用于薄涂层的旋涂，支持最大 Ø200 (Ø300) mm 的晶圆或者230mm*230mm的方片，并可配置用于旋涂、边缘去胶、清洗和干燥模组。

n产品特色

÷ 开放式工作腔

÷ 圆形晶圆最大可达 Ø200 (Ø300) mm

÷ 方形衬底最大可达 150 x 150 (230 x 230) mm

÷ 适用于极薄和薄的光刻胶、SOG、Polymer 和 BCB 凸块材料

÷ 易于清洁和维护

÷ 性价比高

÷ 手动装卸

÷ 用于硅晶圆、玻璃晶圆、陶瓷晶圆和复合材料

÷ 1x 点胶臂，最多 6 条管线

÷ 可选不同类型的喷嘴

÷ 直驱无刷旋转电机

÷ 带防溅环，更换简单

÷ 真空或低接触卡盘或边缘夹持卡盘可选

n技术数据

÷ 衬底尺寸: 最大可达 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

           最大可达 Ø300 mm (Ø12 inch) 或 230 x 230 mm (9 x 9 inch)

÷ 电机转速: 最大 10.000 rpm，步长 1 rpm，程序控制

÷ 电机加速: 最大 40.000 rpm/s，步长 1 rpm/s

÷ 步进时间: 1 到 999.9 秒, 步长 0.1 s

÷ 工艺腔体材料:  PP 

÷ 工艺盖: 带安全中断传感器的透明塑料盖