台式匀胶机（含热板）

n产品简介

BASIXX SH22是一款台式半自动匀胶机热板复合系统系统，功能强大，具有匀胶、清洗、显影、干燥、预烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底胶涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake坚膜)工艺等多种功能，样品最大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片，广泛用于大学，研究所等科研实验室。

n产品特色

匀胶机：

÷ 落地台式机，结构紧凑，所有单元集成在一台设备中，集成度高。

÷ 手动装载/卸载

÷ 衬底最大可达 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 软件提供用户友好的操作

÷ 直驱旋涂电机

÷ 全轴电机驱动且完全可编程

÷ 带安全中断传感器的透明盖

÷ 外壳上有电源开关 ON / OFF

÷ 工艺腔和可更换防溅环，易于拆卸以进行清洁。

÷ 系统材料为PP材质，耐所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。 

÷ 包括 0.5 升废液瓶

热板：

÷ 温度高达 300°C

÷ 电子驱动升降pin

÷ 支撑pin材料为不锈钢，尖端采用 PEEK 材料 (最大250°C)

÷ 程序控制支撑pin的升降（不同停止的速度和步数）

÷ 热板通过真空固定晶圆

÷ 热板盖手动控制

÷ 集成排烟装置

÷ 通过设置receip自动进行加热处理

n技术数据

匀胶机：
 

÷ 衬底尺寸: 最大可达 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 电机转速: 最大 10.000rpm, 步长 1 rpm

÷ 电机加速: 最大 4.000 rpm/s

÷ 步进时间: 1 至 999.9 s，步长为 0.1s

÷ 工艺腔材质: 由天然 PP 制成

÷ 系统架构材质: 由白色 PP 制成

÷ 液体线路：

3线: 2 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞

5线: 6 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞

热板：

÷ 衬底尺寸: 最大可达 Ø200 mm (Ø 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)

÷ 温度: 最大可达 300°C, 步进1°C

÷ 温度精度: < ±1°C@100°C 

÷ 支撑pin: Ø50 mm (Ø2”) ,最大可达 Ø200 mm(Ø8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)

÷ 热板材质: 硬质阳极氧化铝

÷ 加热盖材质: 不锈钢

n选项

匀胶机：

÷  自动液体输送臂                     ÷  液体罐                                 ÷  防溅环

÷  废液池                                   ÷  DI水冲洗                             ÷  N2吹扫

÷  热板                                       ÷  不同类型的夹具                   ÷  中心定位模块

热板：

÷ 支撑pin材料                                                                       ÷ 边缘支撑pin                ÷ N2吹扫

÷ HMDS 热板系统（六甲基二硅胺底胶蒸汽涂覆）                 ÷ 600℃热板                    ÷ 真空泵