晶圆表面颗粒度检测系统（12”工业级）

一、产品介绍

荷兰Fastmicro公司表面颗粒度检测系统专门用于直接、快速检测产品表面颗粒度污染情况，允许检测最小颗粒尺寸100nm。主要应用于半导体领域薄膜、标线片、晶圆表面颗粒度检测或显示领域表面颗粒度检测。基于模块化和可扩展设计，该检测系统的扫描区域可以覆盖非常大的表面，如LCD衬底。

此外，扫描仪模块也可以集成到其它设备中作为OEM解决方案。

二、系统配置

操作模式：全自动；

检测速度：400 Wafers-Per-Hour (WPH)；

分析参数：颗粒数量，位置和尺寸；

分析报告：UI或PDF格式量化报告，满足ISO-14644-9标准；

数据输出：KLARF, XML, Excel & Text文件；

检测阈值：100nm及以上尺寸PSL颗粒；

重复性：99%累积颗粒计数标准颗粒；

尺寸准确性：PSL颗粒20%以内；

定位准确性：40μm精度，15μm定位重复性；

顶部/底部检测：单面检测/无翻转；

控制：全数字控制设备网络-以太网，SECS/GEM；

三、应用领域

荷兰Fastmicro公司表面颗粒度检测系统可以应用于以下场景：

• 薄膜检测（前面和背面）
• 标线片，光掩模
• 4 / 6 / 8/ 12英寸晶圆（背面、坯件、斜面）
• 3Di（例如铜与铜的键合）
• 高纯度关键部件