SiC外径研磨机

n产品简介

Logomatic Q2/Q2+型外径研磨机专门用于研磨SiC晶锭达到标准的6寸或者8寸。集成X射线定向仪，加工Notch或者Flat、光学检查Notch轮廓线形貌等功能与一体，整个研磨过程，包括外径的研磨，定向及开notch或者开flat时间仅仅需要不到1小时，相比传统工艺需要超过6小时，并且需要多台仪器，该设备研磨质量高、效率高，节约人力成本，占有空间小。

n产品特点

÷ 自带X射线定向仪集成外径粗磨、精磨、测量晶向、计算定位Notch&Flat位置、加工Notch&Flat、光学检查Notch轮廓线形貌等功能；

÷ 专为SIC等超硬材料设计，采用高速的“Peel磨削技术”；

÷ 修整与补偿都是全自动进行，与传统磨削相比拥有更高的去除效率；

÷ 优越的加工速度，加工速度：1h/锭（包括加工Notch&Flat），是传统工艺的6倍

÷ 在研磨前、中、后全自动测量工件的长度和直径；

÷ 配有声学震动传感器，有效的阻止空气摩擦和震动；

÷ 配置研磨压力传感器，用于优化特定研磨工艺；

÷ 特殊的夹持系统，两侧中心之间的夹紧抵消了磨削压力，实现了更高的精度

÷ 设计小巧，拥有更小的占地面积；

÷ 搭配离心机使用，用水量最低；

÷ 设备机身采用矿物质铸造而成，有着最优的刚度。

n技术数据

÷ 样品尺寸：Ø6”、Ø8” 厚度60mm；

÷ 占地面积：2.56m2；

÷ 转速：4000m/sec；

÷ 重量：4.5T；