MPS RC Plus 晶圆研磨机
品牌：G&N
型号：MPS RC Plus
产地：德国
关键字：晶圆研磨机、晶圆减薄机、研磨机、减薄机
型号：MPS RC Plus
产地：德国
关键字：晶圆研磨机、晶圆减薄机、研磨机、减薄机
n简介
用于磨削有色金属和半导体材料的高精度磨床。
n应用
批量生产、研发部门，需要对硅、砷化镓、锗、磷化铟、氧化铝、压电陶瓷、石英、铁氧体等材料进行微米级精度研磨。
n功能
- 电机主轴
- 旋转台
- 自动精细进给
- 可编程磨削循环程序
- 冷却液供应
- 真空吸盘（多孔陶瓷）
- 晶圆直径 2" 至 6"
n选项
- 湿磨系统
- 真空系统
- 真空吸盘
- 金刚石砂轮
n技术数据
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马达 |
5.5 kW |
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主轴转速 |
0-3200 min-1 |
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电源连接 |
4 kW |
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旋转台 |
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直径 |
ø270 mm |
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转速 |
5-200 min-1 可持续调节 |
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轴向摆动 |
< 2 µm |
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转台上方研磨高度 |
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金刚石/CBN |
300 mm |
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砂轮 |
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金刚石/CBN |
ø175 mm |
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卡盘数量 |
2"(18), 3"(8), 4"(5), 5"(3), 6"(2) |
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精细横向进给 |
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范围 |
300 mm |
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最小步长 |
1 µm |
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需要空间 |
1360 x 1030 x 1970 mm |
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重量 |
1850 kg |
创建时间：2021-10-03 22:00
