晶圆级三维形貌仪
品牌：E+H
型号：GNS
产地：德国
关键字：晶圆光学轮廓仪、晶圆三维表面形貌仪、纳米显微镜
型号：GNS
产地：德国
关键字：晶圆光学轮廓仪、晶圆三维表面形貌仪、纳米显微镜
n产品简介
晶圆级三维表面形貌仪可以在30秒内测量出整个晶圆的纳米级形貌，主要用于测量晶圆表面的纳米级缺陷。
n产品原理：采用魔镜反射原理
n 产品特性：
- 一次测量300mm整个表面形貌，无需缝合
- 纳米级极高分辨率
- 市场上最快的完整表面测量
- 对振动无特殊要求
- 适用于所有反光表面的创新技术
n主要技术参数:
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测量范围 |
12寸，向下兼容 |
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动态范围 |
坡度: ±0.14° |
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bow: ＜100 µm |
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横向分辨率 |
110 µm |
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纵向分辨率 |
1 nm (typically, with small bow below 50 µm) |
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重复性 |
1 σ ≤ 1 nm |
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每张测量时间 |
30 sec |
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软件分析试剂 |
1 - 2 minutes |
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振动等级要求 |
VC-A |
n产品应用：
抛光减薄后的晶圆，玻璃表面缺陷检测。
创建时间：2021-09-28 09:20
