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晶圆级三维形貌仪

晶圆级三维形貌仪1

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品牌：E+H

型号：GNS

产地：德国

关键字：晶圆光学轮廓仪、晶圆三维表面形貌仪、纳米显微镜

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n产品简介

晶圆级三维表面形貌仪可以在30秒内测量出整个晶圆的纳米级形貌，主要用于测量晶圆表面的纳米级缺陷。

n产品原理：采用魔镜反射原理

n 产品特性：

一次测量300mm整个表面形貌，无需缝合
纳米级极高分辨率
市场上最快的完整表面测量
对振动无特殊要求
适用于所有反光表面的创新技术

n主要技术参数:

测量范围	12寸，向下兼容
动态范围	坡度: ±0.14°
动态范围	bow: ＜100 µm
横向分辨率	110 µm
纵向分辨率	1 nm (typically, with small bow below 50 µm)
重复性	1 σ ≤ 1 nm
每张测量时间	30 sec
软件分析试剂	1 - 2 minutes
振动等级要求	VC-A

n产品应用：

抛光减薄后的晶圆，玻璃表面缺陷检测。

创建时间：2021-09-28 09:20

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