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MPS RC Vacuum 晶圆研磨机

Vacuum
品牌:G&N

型号:MPS RC Vacuum

产地:德国

关键字:晶圆研磨机、晶圆减薄机、研磨机、减薄机

n简介

用于磨削有色金属和半导体材料的高精度磨床。

 

n应用

批量生产、研发部门,需要对硅、砷化镓、锗、磷化铟、氧化铝、压电陶瓷、石英、铁氧体等材料进行微米级精度研磨。

 

n功能

  • 电机主轴
  • 旋转台
  • 自动精细进给
  • 可编程磨削循环程序
  • 冷却液供应
  • 真空吸盘(多孔陶瓷)
  • 晶圆直径 2" 6"

 

n选项

  • 湿磨系统
  • 真空系统
  • 真空吸盘
  • 金刚石砂轮

 

 

n技术数据

马达

2,2 kW

主轴转速

2850 rpm

电源连接

4 kW

旋转台

 

直径

ø300 mm

转速

0-30  rpm

轴向摆动

< 2 µm

转台上方研磨高度

 

金刚石/CBN

300 mm

砂轮

 

金刚石/CBN

ø175 mm

卡盘数量

2"(18), 3"(8), 4"(5), 5"(3), 6"(2)

精细横向进给 

 

范围

300 mm

最小步长

0.1 µm

需要空间

850 x 700 mm

重量

350 kg

创建时间:2021-10-03 22:00

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