넳 넲
首页  ꄲ  SIC外径研磨机/晶圆减薄机  ꄲ  MPS RC Plus 晶圆研磨机

MPS RC Plus 晶圆研磨机

G-NRCPlus1
넳 넲
品牌：G&N

型号：MPS RC Plus

产地：德国

关键字：晶圆研磨机、晶圆减薄机、研磨机、减薄机
ꄴ前一个： MPS R400CVP 晶圆研磨机
ꄲ后一个： SiC外径研磨机

n简介

用于磨削有色金属和半导体材料的高精度磨床。

 

n应用

批量生产、研发部门，需要对硅、砷化镓、锗、磷化铟、氧化铝、压电陶瓷、石英、铁氧体等材料进行微米级精度研磨。

 

n功能

  • 电机主轴
  • 旋转台
  • 自动精细进给
  • 可编程磨削循环程序
  • 冷却液供应
  • 真空吸盘（多孔陶瓷）
  • 晶圆直径 2" 至 6"

 

n选项

  • 湿磨系统
  • 真空系统
  • 真空吸盘
  • 金刚石砂轮

 

 

n技术数据

马达

5.5 kW

主轴转速

0-3200 min-1

电源连接

4 kW

旋转台

 

直径

ø270 mm

转速

5-200 min-1 可持续调节

轴向摆动

< 2 µm

转台上方研磨高度

 

金刚石/CBN

300 mm

砂轮

 

金刚石/CBN

ø175 mm

卡盘数量

2"(18), 3"(8), 4"(5), 5"(3), 6"(2)

精细横向进给 

 

范围

300 mm

最小步长

1 µm

需要空间

1360 x 1030 x 1970 mm

重量

1850 kg
创建时间：2021-10-03 22:00

产品中心

微纳（香港）科技有限公司

全国客服电话：

 

欢迎各界人士前来咨询

CONTANT US 联系我们

版权所有： 微纳（香港）科技有限公司
010-87771242

  • 公司：微纳（香港）科技有限公司

  •  电话：010-87771242

  •  传真：010-87771242-8008

  •  邮箱：info@mnt-china.cn

  •  手机：15321352298

  •  地址：北京市亦庄经济技术开发区大族广场T4-504室