全自动晶圆厚度测量系统
n产品简介:
SemDex A32型全自动晶圆厚度测量系统是德国SENTRONICS公司一款高性能的半导体用全自动晶圆厚度测量系统,该系统集成了红外光谱干涉测量技术,光学干涉技术及光学反射技术的测量探头,广泛用于半导体Wafer Manufacturing, FEOL, BEOL 及Wafer Level Packaging领域,SENTRONICS以其精准的测量能力,非接触的测量方式,快速的测试速度,上下双探头符合SEMI标准的测试方式,使得该设备在半导体,MEMS,在化合物外延领域测量晶圆厚度拥有很高的市场占有率,全球半导体行业已有120多个Fab工厂已安装该系统。
n主要功能:
1、红外光谱技术:采用专利的光谱相干干涉技术,该技术可用于测量最小厚度为1um的wafer, 分辨率可达纳米量级,主要用于测量晶圆厚度、TTV、Bow、Warp、RST、wafer上薄膜厚度。
可以测量背面研磨减薄和刻蚀后的晶圆厚度,也可测量粘附在薄膜或者其他载体上的有图形或凸起的晶圆,可应用于堆叠芯片和微机电系统。
配置单探头系统,可以测量一些对红外线透明的材料,例如Si, GaAs, InP, SiC, 玻璃,石英和一些聚合物,还可以测量常规有图形、有胶带、凸起或者键合在载体上晶圆的衬底厚度。
配置双探头系统时,还提供晶圆整体厚度测量(包括衬底厚度和在光不能穿透的情况下的图形高度厚度)。
还可以测量沟槽深度和通孔深度(包括微机电中的高深宽比的沟槽和通孔),微机电应用中薄膜厚度测量和凸块高度测量。
2、白光干涉技术:采用白光干涉技术,可得到wafer表面的3D形貌,表面粗糙度,TSV等关键尺寸,测量范围为0-100um,分辨率为亚纳米水平。
3、光学反射技术:采用光学反射技术,可得到wafer表面涂层或薄膜的厚度,可测量最小厚度5nm的薄膜,分辨率为亚纳米量级。
n产品特点:
- 兼容4,6,8,12寸样品;
- 所有检测数据,一步同时完成测量;
- 可在一台仪器上搭配不同技术的测量探头,用于测量晶圆厚度、TTV、Bow、Warp、RST、wafer上薄膜厚度,3D形貌,TSV,关键尺寸,粗糙度等参数。
- 符合SEMI S2和S8标准;
- 最多可加载4个8寸片Load Port或者3个12寸片Load Port;
- 两个可翻转的机械手臂,吞吐量最高达100 wafers /h;
- 旋转台用于晶圆全尺寸快速测量;
- SECS/GEM软件包,可以根据用户提供定制化需要;
- 用户界面友好的WaferSpect 软件;
n选配件
1、真空吸盘;
2、高分辨率HD CMOS相机及图像识别的软件;
3、集成OCR、条形码或QR码识别的摄像头;
4、区分不同Cassette类型的阅读信息板;
5、通过测试数据自动进行分拣
n应用行业:
- 化合物半导体:研磨芯片厚度控制GaAs,InP, SiC,GaN
- 硅基器件前段:功率器件,MEMS,射频MEMS
- 硅基器件后段:8”和12”的封装及bumping线,TSV(硅通孔技术)
- LED:可用作检测蓝宝石或碳化硅片厚度及TTV
- 光通讯:石英材料类
n典型应用案例:
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